日本applics高溫高濃度臭氧水分解設備
日本applics高溫高濃度臭氧水分解設備
高溫高濃度臭氧水分解設備
本裝置は高溫高濃度のオゾン水を 1ppm 以下の濃度に 分解します。冷卻受水槽を用いることで 70℃のオゾン水 を 35℃まで冷卻し、紫外線の後段に活性炭槽を設けるこ とで、1ppm 以下まで分解する構造となっています。
這是一種具有冷卻功能的臭氧水分解裝置，其內部具有經過驗證的臭氧水分解裝置。它主要用于分解半導體或液晶制造過程中使用的純臭氧水。
*尺寸和內部安裝零件可能會因規格而異。
*照片是設備的示例。
| 產品名稱 | 高溫高濃度臭氧水分解設備 |
|---|---|
| 模型 | OZK-JSHT002 |
| 能力 | *取決于使用條件和環境。
|
| 原則 | 紫外線照射法 |
| 電源供應 | 單相AC200V±10％ |
| 評論 | 具有散熱功能 具有各種安全功能和警報 |
製品名 高溫高濃度オゾン水分解裝置 型 式 OZK-JSHT002 原 理 紫外線照射方式及び活性炭通水式 対 象 純オゾン水又は 1%以下の弗酸オゾン水 （石英ガラスを溶解する物質や紫外線の透過を妨げる物質を含まないこと） 試料水 條 件 1）分解液溫度範囲：70℃以下（周囲溫度：20±5℃、50±10％ＲＨ以下） 2） 試料水圧力 ：0.3 MPa 以下（衝撃圧不可） 3）使用流量範囲：8L/min 以下 接続口 詳細仕様書にてご確認ください。（通水入口、通水出口） 裝 置 能 力 1）オゾン水分解能力：IN 150mg/L ⇒ OUT 1mg/L ※詳細條件あり 2）冷卻タンク能力 ：IN 70℃ ⇒ OUT 32.5±3℃ ※詳細條件あり 3）活性炭タンク能力：通水圧力 0.3Mpa 使用推奨 0.15Mpa 以下 裝置能力の詳細條件は別資料【納入仕様書】にてご確認ください。 安 全 対 策 1）警報：納入仕様書【付表 1 “警報時の機器別動作表”參照 2）裝置內機器：非常停止ボタン、排気圧センサー、オゾンガスモニタ 漏水センサー、液面センサー、メンテナンスパネル開閉センサー搭載 電 源 単相 AC200V±10%、10A?2KVA ※接地必須 接液部材 質 PFA、PTFE、ETFE、硬質 PVC、石英ガラス 主 な 材 質 1） 本體フレーム?パネル ： SUS304 2） 內部支持構造部品 ： SUS304、A5052、硬質PVC等 3） 排気系配管部品 ： 硬質PVC 4） 制御系エア配管部品 ： ポリエチレン 裝 置 外 徑 幅 1350 × 奧行 1600 × 高さ 1350 （突起物含む） 設置方 法 分解塔：橫置 / 制御ユニット：取付穴（４箇所）を利用して壁面等へ取付 付 屬 品 1）純水供給口変換アダプタ 6）処理水受入口２重配管 2）アラーム信號線 7）プラグ類 3）アンカー用ブラケット 8）敷板 4）アイボルト 9）インシュロック 5）排気口拘束帯 10）シリコン?????
