日本sonic超聲波微量液體流量計μLF-300S
IPA、純水、藥液等半導體制造工序中的微小區域的流量控制
?1ml/min起的微量流量測量
?通過數字信號處理的微量流量高精度測量
?傳感器部采用非接觸結構有流體
?范圍廣
日本sonic超聲波微量液體流量計μLF-300S
產品規格
■ 微小液體流量計（分體式）
µLF-300S
| 模型 | μLF-300S + μLT-8I（1/8 英寸）或 μLF-300S + μLT-4I（1/4 英寸） |
| 測量原理 | 超聲波傳播時差法 |
| 待測液體 | 純水、水溶液、各種化學溶液 * 如果使用水以外的液體，請事先確認。 |
| 適用流體溫度范圍 | 15°C 至 80°C *如果在 60°C 或更高溫度下使用，請提前檢查 |
| 流體壓力 | 0.5MPa以下 |
| 流體運動粘度 | 100mm^2/秒或更小 |
| 流量范圍 | 0 毫升/分鐘至 1000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-8I) 0 毫升/分鐘至 1000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-8I) |
| 測量精度 | ±0.5%RD (1/8 inch : 200 ~ 1000ml/min 條件：常溫、恒溫水) ±1ml/min (1/8 inch : 0 ~ 199ml/min) ±0.5%RD (1/4 inch : 800 ～ 4000ml/min 條件：常溫、恒溫水) ±4ml/min (1/4 inch : 0 ～ 799ml/min) |
| 重復性 | ±0.2%（純，液溫±0.5℃，30秒平均值） |
| 電源 | DC24V ±10% |
| 能量消耗 | 3.6W以下 |
| 重量 | 傳感器 240g，檢測器 70g |
| 尺寸 WxHxD(mm) | 傳感器 97 x 49 x 127 檢測器 90 x 25 x 20（不含管） |
| 檢測單元 | |
| 管材 | PFA（氟樹脂） |
| 管徑 | 1/8 英寸外徑：3.17 毫米，內徑：2.17 毫米，1/4 英寸外徑：6.35 毫米，內徑：4.35 毫米 |
| 結構體 | 相當于IP65 |
| 附屬電纜 | 5m，連接器連接 |
| 輸入部分 | |
| 數字輸出 | 4 線 RS-422、4 線 RS-485 |
| 模擬輸出 | 4-20mA（瞬時流量），負載電阻500Ω以下 |
| 集成脈沖輸出 | 1ch（集電極開路） |
| 報警輸出 | 1ch（集電極開路） |
| 接點輸入 | 1ch（零流量設置或累計清除） |
| 按鍵輸入 | 4 輸入鍵 |
